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  制(zhi)備(bei)工(gong)業電子(zi)行業超(chao)純水(shui)設備(bei)的(de)工(gong)藝流(liu)程(cheng)大致分(fen)成以下幾(ji)種：1、采用離子交換樹脂制備超純水(shui)的(de)傳(chuan)統水(shui)處理方(fang)式，其基本工藝流程為：原水(shui)→沙炭過濾(lv)(lv)器(qi)→精密過濾(lv)(lv)器(qi)→陽床(chuang)→陰床(chuang)→混床(chuang)（復床(chuang)）→純水(shui)箱→純水(shui)泵→后置精密過濾(lv)(lv)器(qi)→用水(shui)點 2、采用反滲(shen)透(tou)(tou)水(shui)(shui)處理設備(bei)與離子交(jiao)換設備(bei)進行(xing)組合的方式，其基本工藝流程為：原水(shui)(shui)→沙炭過濾(lv)器→精(jing)密過濾(lv)器→反滲(shen)透(tou)(tou)設備(bei)→純(chun)水(shui)(shui)箱(xiang)→混床（復床）→超(chao)純(chun)水(shui)(shui)箱(xiang)→超(chao)純(chun)水(shui)(shui)泵(beng)→后置精(jing)密過濾(lv)器→用水(shui)(shui)點(dian) 3、采用反滲透水處理設(she)備(bei)與電去離子（EDI）設備(bei)進(jin)行搭配的(de)(de)的(de)(de)方(fang)式，這是一(yi)種制(zhi)取(qu)超純(chun)水(shui)的(de)(de)最新工(gong)藝(yi)，也(ye)是一(yi)種環保，經濟(ji)，發展潛力巨大的(de)(de)超純(chun)水(shui)制(zhi)備(bei)工(gong)藝(yi)，其基本(ben)工(gong)藝(yi)流程為：原水(shui)→沙炭過(guo)濾(lv)器→精密過(guo)濾(lv)器→反滲透設備(bei)→純(chun)水(shui)箱→電(dian)去離子（EDI）→超純水(shui)箱→超純水(shui)泵→后置精密過濾器→用水(shui)點 三種(zhong)制備工業用超(chao)純水的(de)工藝比較目前制備電子(zi)工業用超(chao)純水的(de)工藝基本上是以上三種(zhong)，其余的(de)工藝流程大都是在以上三種(zhong)基本工藝流程的(de)基礎上進(jin)行不(bu)同組合搭配衍生(sheng)而來。現將他們(men)的(de)優缺點分(fen)別列于下(xia)面(mian)：1、第一(yi)種采用離子交(jiao)換樹脂其優點(dian)在于(yu)初投(tou)資少(shao)，占用的地方少(shao)，但(dan)缺點(dian)就是需要經常進(jin)行(xing)離子再生，耗費大量酸堿，而且對環(huan)境有一(yi)定的破壞。2、第二種采用反滲透作為預處理再配上離子(zi)交(jiao)換設(she)備，其特點(dian)為初投次比(bi)采用離子(zi)交(jiao)換樹脂(zhi)方式要高，但(dan)離子(zi)設(she)備再生周期相對要長(chang)，耗費的酸堿比(bi)單純采用離子(zi)樹脂(zhi)的方式要少很多。但(dan)對環境還是有一定的破(po)壞(huai)性。3、第三種采用反滲(shen)透(tou)作預處理再(zai)配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超(chao)純水(shui)最(zui)經濟，最(zui)環(huan)保用來制取超(chao)純水(shui)的工藝，不(bu)需要(yao)用酸(suan)堿進行再生(sheng)便可連續制取超(chao)純水(shui)，對(dui)環(huan)境沒什么破壞性。其缺點在于(yu)初投資相對(dui)以上兩種方式(shi)過于(yu)昂(ang)貴(gui)純水設備